赵启年听得很认真,他虽然之前就对这些情况有所了解,但听苏定平从技术底层一条条剖析出来,感受还是完全不同。
他渐渐明白苏定平为什么对雄鹰部落的逆向工程如此不以为意了。
苏定平把记号笔放下,转头看向赵启年。
“而且,最关键的一点——我们卖给他们的光刻机里,有几样核心零部件,雄鹰部落即便把整个部落的科研力量全部砸进去,十年之内也造不出来。”
赵启年精神一振。
“哪些零件?”
苏定平竖起三根手指。
“第一,精密陶瓷导轨。这套导轨的直线度精度要求在几百毫米行程内偏差不超过几十纳米,而且要在高真空和交变温度环境下保持这个精度。
这种陶瓷材料的配方和烧结工艺,整个蓝星上只有我们的龙心实验室掌握。
雄鹰部落的陶瓷材料研究在全球也算是顶尖的,但他们目前最好的陶瓷导轨,精度比我们差了一个数量级都不止。”
“第二,高速气浮主轴。这个主轴是驱动晶圆台旋转和移动的核心部件,最高转速超过每分钟数万转,径向跳动量必须控制在几十纳米以内。
它内部的气浮轴承结构、供气系统的压力波动控制、转子动平衡的校准精度,每一项都是绝密级别的工艺。我给雄鹰部落十年,他们也未必能把这个东西做到我们的水平。”
“第三,激光干涉仪模组。这是整个光刻机位置反馈系统的核心,用来实时测量晶圆台和掩模台之间相对位置的变化,测量分辨率要做到亚纳米级别。
这个模组里面用到的稳频激光器、光学干涉光路的设计、信号处理的算法,全部都是我们从头到尾自主研发的。
雄鹰部落目前在激光干涉测量领域的最高精度还停留在十几纳米级别,差距是整整一个数量级。”
苏定平将三根手指收回,重新走回办公桌前坐下,目光平静地看着赵启年。
“所以,你担心雄鹰部落买了我们的光刻机之后会逆向工程赶超我们,这个可能性几乎为零。他们能逆向出来的,都是我们在上一代产品中就已经不再使用的技术。
而真正构成我们代差优势的这些核心零部件和底层工艺,他们连从哪里开始模仿都找不到方向。”
赵启年听完苏定平这番话,心里最后一点疑虑也彻底烟消云散了。他长长地吐了一口气,脸上露出由衷的钦佩。
“苏总工,跟您聊完这些,我感觉自